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Semi-conducteurs: la Chine lance la production de ses propres machines de lithographie DUV à immersion

Une entreprise chinoise méconnue basée à Shanghai, Aishengna, a démarré la production de machines de lithographie DUV à immersion, une étape clé dans la quête d'autosuffisance technologique de Pékin face à ASML.



La Chine a entamé la production en série de machines de lithographie DUV (deep-ultraviolet) à immersion développées localement, une technologie essentielle à la fabrication de semi-conducteurs avancés. Selon une source proche du dossier, cette avancée marque une étape importante dans la stratégie de Pékin visant à réduire sa dépendance aux technologies étrangères, longtemps dominées par le groupe néerlandais ASML.

Aishengna, une entreprise méconnue à la manœuvre

L'effort de production est piloté par Shanghai Aishengna Electronic Technology Group, une entreprise publique chinoise peu connue, qui aurait intégré des équipes issues de plusieurs start-up chinoises spécialisées dans la lithographie, selon une source ayant requis l'anonymat en raison de la sensibilité du sujet. Cette avancée constitue une victoire pour l'initiative nationale chinoise d'autosuffisance dans les semi-conducteurs, l'une des priorités affichées du président Xi Jinping, sans pour autant représenter une menace commerciale immédiate pour ASML.

Un rythme de production encore limité

Selon le média spécialisé The Information, qui a été le premier à révéler ce développement, l'entreprise à l'origine du projet prévoirait de produire environ cinq machines cette année, puis une vingtaine en 2027. Reuters a pour sa part été le premier à identifier publiquement l'entreprise concernée. Les machines DUV conçues par Aishengna devraient encore nécessiter des tests supplémentaires et resteraient loin d'égaler les modèles concurrents proposés par le groupe néerlandais.

Un déploiement qui offrirait toutefois une alternative stratégique

Un déploiement réussi de cette technologie offrirait néanmoins aux fabricants chinois de puces une source alternative d'équipements, dans l'hypothèse où les gouvernements occidentaux renforceraient encore les restrictions à l'exportation ou à la maintenance des outils de lithographie étrangers. Selon des sources citées par The Information, ces machines fabriquées en Chine devraient être livrées cette année à plusieurs grands fabricants chinois de semi-conducteurs, dont Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), Hua Hong Semiconductor, ainsi que le fabricant de puces mémoire ChangXin Memory Technologies (CXMT).

Le fonctionnement de la technologie DUV à immersion

Les machines DUV à immersion utilisent une fine couche d'eau entre la lentille de projection et la plaquette de silicium, ce qui permet d'imprimer des motifs de circuits plus fins qu'avec les systèmes secs conventionnels. Cette technologie sert à produire une large gamme de puces et peut également être utilisée, via une technique de motifs multiples nécessitant des expositions répétées d'une même couche, pour fabriquer des semi-conducteurs plus avancés.

Une réaction limitée des marchés

L'action ASML avait chuté de 8 % lundi après la publication de l'article de The Information, avant de reculer encore légèrement mardi matin, dans un mouvement globalement en ligne avec le reste du secteur européen des semi-conducteurs, bien qu'en retrait par rapport à l'indice paneuropéen STOXX 600.

ASML, SMIC, Hua Hong et CXMT n'ont pas répondu aux demandes de commentaires formulées à ce sujet.

Aishengna, une structure adossée à des capitaux publics shanghaïens

Fondée en août 2023 avec un capital enregistré de 7 milliards de yuans, soit environ un milliard de dollars, Aishengna serait détenue par deux actionnaires publics : Shanghai Electric Holding et une filiale de Shanghai International Trust, selon les registres commerciaux consultés. L'entreprise, qui ne dispose d'aucun site internet et n'a communiqué aucune information publique sur ses activités, aurait intégré des équipes issues de la start-up Yuliangsheng, qui testait déjà un prototype de machine DUV l'an dernier, ainsi que de Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE).

SMEE et Yuliangsheng, cette dernière étant affiliée au fabricant d'équipements SiCarrier soutenu par Huawei, sont toutes deux profondément impliquées dans les efforts chinois d'autosuffisance dans le secteur des semi-conducteurs. Les registres d'entreprise et de recrutement montrent par ailleurs qu'Aishengna et Yuliangsheng partagent une même adresse à Shanghai.

Aishengna, ses actionnaires, SMEE et Yuliangsheng n'ont pas répondu aux demandes de commentaires.

Une course technologique face à ASML

La Chine se voit interdire par les États-Unis l'achat des systèmes de lithographie extrême-ultraviolette (EUV) les plus avancés d'ASML, tandis que les restrictions à l'exportation imposées par les Pays-Bas limitent également son accès à certaines machines DUV plus perfectionnées. Malgré la volonté d'autosuffisance affichée par Pékin, la Chine demeure un marché essentiel pour ASML, représentant environ 16 % de son chiffre d'affaires net au premier semestre de l'année, les fabricants chinois continuant à acquérir massivement des outils DUV moins avancés.

Reuters avait par ailleurs rapporté en décembre, en citant des sources, que la Chine avait réussi à construire un prototype de système EUV, une technologie clé pour la fabrication des puces les plus avancées au monde, tout en précisant que sa mise en production restait encore éloignée de plusieurs années.

Un impact jugé limité à moyen terme par les analystes

Malgré la réaction des marchés, plusieurs analystes estiment que cette annonce ne devrait pas affecter la trajectoire des résultats d'ASML à moyen terme. Des analystes de JP Morgan Chase ont souligné, dans une note publiée mardi, que produire quelques machines DUV à immersion ne suffisait pas à garantir une production en grande série, où le rendement, la précision d'alignement, le débit et la fiabilité sur des milliers de plaquettes traitées demeurent les critères déterminants.

Le lancement de la production de machines DUV par Aishengna illustre les progrès réalisés par la Chine dans sa quête d'autosuffisance en équipements de fabrication de semi-conducteurs, tout en confirmant que le pays reste, pour l'instant, loin de pouvoir rivaliser avec les technologies les plus avancées du leader néerlandais ASML.

Rédigé par le Mardi 28 Juillet 2026 à 22:38


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